据孟各庄和刘白塔村出土文物考证，早在新石器时代，三河地域已有人类聚居。
西周前归属，无文字记载。
春秋、战国时，属燕地。
秦属渔阳郡。
西汉置路县，三河为幽州渔阳郡路县地。王莽篡位，改路县为通路亭。东汉，改“路县”为“潞县”，三河地域均隶之。
东汉末，为袁绍辖地。
三国，属于魏。
西晋，属幽州燕国广阳郡潞县。
东晋十六国，先后属于后赵、前燕、前秦、后燕和北魏幽州渔阳郡潞县。
南北朝时，初为北朝北魏地。永熙三年（年），北魏分裂为东、西魏后，属东魏渔阳郡潞县地。东魏武定八年、北齐天保元年（年）后，为北齐渔阳郡地。
隋时，属涿郡潞县地。
唐武德二年（年），析幽州置玄州，同时析玄州潞县东部地区置临泃县（以县治濒临泃河得名）。贞观元年（年）废玄州，并入幽州。撤临泃县，复入潞县。开元四年（年），再析幽州潞县东部置三河县。开元十八年（年），改隶于蓟州。
五代十国初，三河属于后梁。乾化元年（年），刘守光僭称燕帝，三河属燕国蓟州。后唐同光元年（年），李存勖灭后梁和燕，称帝，三河隶于后唐蓟州。后晋天福元年（年），石敬瑭割燕云十六州赂契丹，三河随之入契丹，属蓟州尚武军。
辽开泰元年（年），三河属辽南京道幽都府蓟州。后改幽都府为析津府，三河仍隶于蓟州。
宋宣和四年（金天辅六年，年）十二月，金太祖完颜旻攻克辽南京（今北京），三河属于金。宣和五年，金以燕京（辽称南京，今北京）6州还宋，三河随之归宋。宣和七年，复为金地。金天德三年（年），升潞县为通州，三河隶之。金贞元元年（年），金改燕京为中都路，置大兴府，三河属大兴府通州。
元太祖十年（年）五月，克中都（今北京），三河始为元属地。世祖中统元年（年），隶于中书省。至元二十一年（年），置大都路总管府，三河属直隶中书省大都路通州。
明洪武元年（年）八月，改大都路为北平府，十月属山东行省。二年三月，改属北平。十年，省平谷入三河。十三年，仍设平谷。永乐元年（年）正月，北平升为北京，改北平府为顺天府。十九年正月，明成祖朱棣迁都北京，改北京为京师。三河属京师顺天府通州。
清，三河属直隶省顺天府通州，隶通永道。雍正四年（年），以通永道专司河务，通州、三河等州县一并改属霸昌道。十二年，复归通永道。
中华民国元年（年），三河仍属顺天府。年，属京兆特别区。年，国民党中央政府迁都南京，改京兆特别区为河北省，三河属之。年11月25日，殷汝耕在通县（原通州）成立伪“冀东防共自治政府”，辖三河、唐山等22县2市。年至年8月间，日本侵略军在三河建有伪县政府，隶属河北省冀东道。
年7月6日，冀东抗日武装起义爆发后，为适应抗日战争需要，逐步建立起联合县的人民政权。
年4月至10月，市域部分村庄隶属于蓟（县）平（谷）密（云）联合县三河特别区。
年秋，建立蓟（县）宝（坻）三（河）联合县，隶属于晋察冀边区第十三行政督察专员公署（习称冀东十三专署）。
年秋，市域分属平（谷）三（河）密（云）和蓟宝三两个联合县。
年底，平三蓟（平三密改称）联合县隶属于冀热辽行署第一专署。
年1月，三河分属于平三蓟和三（河）通（县）顺（义）、三（河）通（县）香（河）联合县，隶于冀热辽区行署第十四专署。
年1月，各联合县撤销，三河属冀东区行署第十四专署。同年9月5日，国民党军队占领三河，其政区属河北省通县专署。
年春，冀热辽解放区改称冀察热辽解放区，划属为东北解放区的一部分。5月1日，冀东区行政公署正式划归东北行政委员会领导，三河仍属冀东区行政公署第十四专署。
年8月1日，三河属于河北省通县专区。
年4月，撤销通县专区，三河隶于唐山专区。同年12月，撤销三河县建制，与大厂回族自治县一同并入蓟县。年4月，撤销唐山专区，所属各县划归唐山市。同月，改隶天津市。年7月，天津市所辖蓟县（含三河）宝坻等县划归天津专区。年6月，恢复三河县建制，仍隶天津专区。年11月，天津专区改为天津地区。年12月，天津地区改称廊坊地区。年9月，国务院批准，廊坊地区改为廊坊市（地级）。年4月，三河撤县建市（县级），仍属廊坊市管辖。至年年底，隶属关系无变化。
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